真空泵密封不严：拧紧所有的联接螺栓，拧紧填料压盖，紧紧地包缠管道及仪表与其它部件连接的地方。或者更换垫片、填料。对于空气泄漏之处，还可以涂上油石灰等作为临时的补救措施。

　　轴承歪斜：这种现象使叶轮倾斜地装在泵体中。对于单作用泵而言，其轴向间隙不均匀，叶艳旋转时，必然会有一部分与侧盖摩擦，擦伤侧盖和叶轮端面，使轴向间隙增大。压缩腔气体在通过增大了的间隙时，大量地泄漏到吸入腔里去，使真空度或排气压力降低。这时就要将轴承拆下来进行修理，然后再进行正确地安装。
　　前后侧盖不同心：可能真空泵的前后侧盖有着较大的不同轴度，后果与轴承歪斜的相同。
　　真空泵发热：真空泵温度升高，饱和蒸汽压也随之升高，这样就会降低真空度，但这对排气压力是没有什么影响的。